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Bomba de vácuo de parafuso seco de frequência variável
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Bomba de vácuo de parafuso seco de frequência variável

A bomba de vácuo de parafuso seco de frequência variável de alta qualidade Yuzhen pode ajustar automaticamente sua velocidade de acordo com as condições de trabalho no local, usando apenas a energia necessária, resultando em maior economia de energia e flexibilidade. É particularmente adequado para linhas de produção com mudanças frequentes de processo e requisitos exigentes de consumo de energia e estabilidade.

Em muitas fábricas, os requisitos de vácuo não são constantes.

Alguns processos requerem alto vácuo, enquanto outros só precisam manter um determinado estado. Se o equipamento funcionar continuamente a toda velocidade, os custos de eletricidade serão elevados e o desgaste do equipamento será acelerado.

A vantagem da bomba de vácuo de parafuso seco de frequência variável reside nisto -

Ele não opera em plena capacidade o tempo todo, mas ajusta automaticamente sua velocidade de acordo com as necessidades reais. A bomba de vácuo funciona sob demanda, economizando energia elétrica e evitando trabalhos desnecessários.

Quando a carga do sistema está baixa, a bomba de vácuo desacelera automaticamente, reduzindo o consumo desnecessário de energia;

Caso o processo exija maior capacidade de bombeamento, ele poderá responder rapidamente, garantindo que o ritmo de produção não seja interrompido.

Este método de controle de frequência variável não apenas reduz significativamente os custos de eletricidade, mas também faz com que todo o sistema funcione de maneira mais suave e silenciosa. No longo prazo, também protege o próprio equipamento.


Fácil gerenciamento

A bomba de vácuo de parafuso seco de frequência variável apresenta uma interface de controle intuitiva, permitindo aos usuários compreender facilmente o status operacional e os parâmetros rapidamente. Os operadores não necessitam de treinamento especializado e complexo; é muito fácil de usar e os ajustes diários e o monitoramento são convenientes.


Cenários típicos de aplicação

Fabricação de semicondutores e eletrônicos: gravação, CVD, PECVD e outros processos

Linhas de produção fotovoltaica e LED: Deposição, limpeza e evacuação de filmes finos

Processos químicos: Tratamento de gases, reação a vácuo, recuperação de solventes

Aplicações industriais de revestimento, galvanização e alta limpeza


BOMBA DE VÁCUO DE PARAFUSO SECO SÉRIE PS

Principais recursos

1. Caminho curto do gás e redução da contaminação do gás de processo

Comparando com outros tipos de bomba de vácuo seca, a bomba de vácuo de parafuso HANBELL tem o caminho de gás mais curto na bomba de vácuo e isso pode reduzir a contaminação do gás de processo. Os rotores de parafuso podem funcionar como um mecanismo de transmissão de pó, funcionamos bem mesmo que haja muita contaminação dentro da bomba.

2. Excelente desempenho da bomba devido aos excelentes efeitos de vedação do perfil do rotor

O perfil patenteado do rotor pode fornecer excelentes efeitos de vedação ao rotor, portanto, uma folga maior é permitida entre eles. O desgaste do rotor da bomba e o emperramento do rotor pela contaminação do processo podem ser reduzidos através de uma maior folga permitida.

3. Estrutura simples reduz a chance de parada inesperada da bomba e facilita o processo de revisão.

O vácuo tipo parafuso é composto por um par de rotores de parafuso e placas de isolamento são necessárias em diferentes estágios da câmara de bombeamento. A contaminação do processo entre rotores e placas de isolamento também pode ser evitada. A revisão da bomba seca Hanbell é muito mais fácil do que outro tipo de bomba seca, portanto, o tempo de reparo é mais curto e o custo é menor.

4. O controlador do microprocessador e o software de controle remoto podem proteger a bomba de situações anormais.

O controlador microprocessado fornece vários parâmetros da bomba para monitoramento do status de operação. A bomba pode ser facilmente operada e monitorada pelo painel de operação. O software de controle remoto pode ajudar o cliente a monitorar remotamente o status de funcionamento da bomba.


Vantagens

1. Líquido refrigerante especial é utilizado para resfriamento, evitando a possível corrosão da carcaça pela água de resfriamento.

2. A interface de operação móvel é conveniente para operação; ele exibe a condição real de funcionamento da bomba de vácuo e pode ser exibido em chinês e inglês, atendendo verdadeiramente aos clientes.

3. Conector de alimentação de nível militar, seguro e conveniente.

4. Aquecedor de nitrogênio, tornando a bomba de vácuo mais adequada para processos de semicondutores como CVD e PECVD.

5. Sinal de controle e interface de sinal de comunicação, permitindo o monitoramento remoto da bomba de vácuo.

Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump


BOMBA DE VÁCUO DE PARAFUSO SECO SÉRIE PS

Modelo Unidade PS80 PS160 PS180
Velocidade de bombeamento (50 Hz/60 Hz) L/min 1300/1600 2150/2600 2500/3000
m³/h 80/96 140/156 150/180
cfm 48/57 82/92 88/105
Pressão UITimate Torr ≤7,5*10⁻3
mbar ≤1*10-2
Pai ≤1
Motor Freqüência Hz 50/60
Tensão V 220~440
Poder HP 4 6 6
KW 2.98 4.47 4.47
Conexão Entrada NW50
Outer NW40
Resfriamento
Água
Fluxo L/min 3~7
Pressão kg/cm² 2~4
Temperatura 18~30
Conexão RC3/8”
N2 Pressão MPa 0,15~0,2
Diluir Fluxo L/min 0~60
Fluxo de vedação L/min 0~20
Conexão Swagelok 1/4”
DIM.L*W*H milímetros 814*380*663 895*405*678 920*425*650
Peso kg 280 300 320
Barulho dB(A) ≤68 ≤70 ≤70
Notas: 1. Os níveis de ruído acima são para modelos com motor refrigerado a água e sem carcaça. 2. A instalação de dispositivos de isolamento acústico nos modelos acima pode reduzir ainda mais o ruído em 3-4 decibéis.
Interface SEMIE73-0299
Taxa de vazamento da bomba Mbar.1/s 1*10-5
Temperatura de operação 5~40
Umidade de Operação RH abaixo de 90%


Modelo Unidade PS602 PS902 PS1302 PS1802
Velocidade de bombeamento (50 Hz/60 Hz) L/min 8300/10000 12.500/15.000 17500/21000 25000/33300
m³/h 500/600 750/900 1050/1260 1500/1800
cfm 294/353 441/530 618/742 883/1060
Pressão UITimate Torr ≤7,5*10⁻⁴
mbar ≤1*10⁻³
Pai ≤0,1
Motor Freqüência Hz 50/60
Tensão V 220~440
Poder HP 4+4 6+4 6+6 6+6
KW 2,98+2,98 4,47+2,98 4,47+4,47 4,47+4,47
Conexão Entrada IS0100 (parafusado) IS0160 (parafusado)
Outer NW40
Resfriamento
Água
Fluxo L/min 3~7
Pressão kg/cm² 2~4
Temperatura 15~30
Conexão RC3/8”
N2 Pressão MPa 0,15~0,2
Diluir Fluxo L/min 0~60
Fluxo de vedação L/min 0~20
Conexão Swagelok 1/4”
DIM.L*W*H milímetros 814*380*865 895*380*915 920*430*957 920*430*1030
Peso kg 450 520 540 545
Barulho dB(A) ≤70 ≤70 ≤70 ≤70
Notas: 1. Os níveis de ruído acima são para modelos com motor refrigerado a água e sem carcaça. 2. A instalação de dispositivos de isolamento acústico nos modelos acima pode reduzir ainda mais o ruído em 3-4 decibéis.
Interface SEMIE73-0299
Temperatura de operação 5~40
Umidade de Operação RH Abaixo de 90%


Dimensões físicas PS

 Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump


BOMBA DE VÁCUO DE PARAFUSO SECO SÉRIE PD

Características

Bomba de vácuo de parafuso seco, pode ser com motor refrigerado a água (à prova de explosão) ou motor refrigerado a ar (à prova de explosão), alta velocidade de bombeamento em alta pressão, baixo consumo de energia, baixo ruído.


Aplicativo

LCD TFT, painel de toque

Solar

Sistema Metalúrgico

Revestimento

Processos plasmáticos

Processo de secagem

Biotecnologia/Farmacêutica

Indústria química


Parâmetros de desempenho PD

Modelo Unidade PD120 PD200 PD300 PD500 PD650 PD800
Velocidade de bombeamento (50 Hz/60 Hz) L/min 1667/2000 2830/3400 4167/5000 7000/8333 9030/10840 11011/13233
m³/h 100/120 167/200 250/300 420/500 540/650 680/800
cfm 59/71 98/117 147/176 248/295 371/382 393/471
Pressão UITimate Torr ≤7,5*10-3
mbar ≤1*10-2
Pai ≤1
Motor Freqüência Hz 50/60
Tensão V 220~380~440
Poder HP 4/5.3 6/7,5 8/10 15/20 25/30 25/30
KW 2,98/4 4,47/5,5 6,7/7,5 15/11 18,5/22 18,5/22
Poder KW 1.6/2 2.2/3 3.6/4.2 6/7 13/10 14/11
Conexão Entrada NW50 NW50 ISO63 ISO80 ISO100 ISO100
Outer NW40 NW40 NW40 NW50 ISO63 ISO63
Resfriamento
Água
Conexão RC3/8” RC1/2”
Pressão kg/cm² 2,0~4,0
Temperatura 3slm18℃~7slm28℃ 6slm18℃~15slm28℃
Fluxo L/min
N2 Pressão kg/cm² 0,15~0,2
Diluir Fluxo L/min Por Processo
Fluxo de vedação L/min 10
Conexão Swagelok 1/4”
DIM.L*W*H milímetros 814*380*663 920*430*674 1075*430*650 1346*538,4*886 1831*610*735 1831*610*735
Peso kg 280 345 390 550 1050 1050
Barulho dB(A) 68 <70 <70 <75 <80 <80
Temperatura de operação 5~40°C
Umidade de Operação RH Abaixo de 90%


Curva de desempenho PD

 Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump


Dimensões PD

 Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump Variable Frequency Dry Screw Vacuum Pump


Série PD

Produto Unidade PD300 PD500 PD1902 PD2152 PD3052 PD3652
Bomba seca m³/h 330 500 330 500 500 500
Bomba de reforço m³/h 1800 1800 3000 3600
Velocidade máxima de bombeamento m³/h 330 500 1900 2100 3000 3600
l/min 5500 8300 32000 35000 50000 60000
Pressão Final Torr 7,5X10-3 7,5X10-3 7,5X10-4 7,5X10-4 7,5X10-4 7,5X10-4
Consumo de energia kW 4.5 7.7 5.3 8.5 8.8 9.0
Entrada ENTÃO 63 80 160 160 200 200
Tomada NO 40 50 40 50 50 50
Dimensão (mm) L 1055 1505 1055 1505 1505 1505
W 430 525 430 525 525 525
H 560 515 1055 790 965 965
Peso Kg 350 500 560 730 1000 1020


BOMBA DE RAÍZES SÉRIE PR

Características

1. As bombas PR possuem um mecanismo de bombeamento isento de óleo de alta qualidade.

2. Excelente desempenho da bomba devido aos excelentes efeitos de vedação do perfil do rator.

3. Operar em pressões relativamente baixas o torna altamente confiável

4. Operação silenciosa e sem vibrações


Campo de aplicação

Revestimento a vácuo, forno a vácuo, processo térmico, farmacêutico, químico, semlconductor, TFT/LCD/LED e célula solar, etc.


Parâmetros de desempenho de relações públicas

Modelo Unidade PR600 PR900 PR1300 PR1800 PR3000 PR7000
Velocidade de bombeamento (50 Hz/60 Hz) L/min 13000 20000 26000 33000 63000 140000
m³/h 800 1200 1600 2000 3800 8400
cfm 470 706 941 1176 2235 4947
Pressão UITimate Torr ≤7,5*10⁴
mbar ≤1*10⁻³
Pai ≤0,1
Motor Freqüência Hz 50/60
Tensão V 220~440
Poder HP 4 4 6 6 20/08 20
KW 2.98 2.98 4.47 4.47 6,7/15 15
Consumo de energia ocioso KW 1.7
Conexão Entrada IS0100 ISO160 ISO200 320 ISO K
Outer IS0063 ISO100 IS0160 160 ISO K
DIM.L*W*H
milímetros

721*322*233

778*360*250

848*360*272

778*360*272
1142*510*358 1490*669*490
Peso kg 160 210
220

225
570 880
Barulho dB(A)
≤60

≤60

≤62

≤62

≤65

≤70
Notas: 1. Os níveis de ruído acima são para modelos com motor refrigerado a água e sem carcaça. 2. A instalação de dispositivos de isolamento acústico nos modelos acima pode reduzir ainda mais o ruído em 3-4 decibéis.
Taxa de vazamento da bomba Mbar.1/s 1*10⁵
Temperatura de operação ℃ 5~40
Operação Umidade RH RH Abaixo de 90%


Série de economia de energia de semicondutores PMF

Modelo Unidade PMF100 PMF120 PMF612
Velocidade de bombeamento L/min 1666 1933 10000
m³/h 100 116 600
cfm 59 69 353
Pressão Final Torr ≤7,5×10-3 ≤7,5×10-3 ≤7,5×10-4
mbar ≤1×10-2 ≤1×10-2 ≤1×10-3
Motor Tensão V 220V/380V 220V/380V 220V/380V
Potência nominal kW 2.2 2.2 2,2+2,2
Conexão Entrada NW50 NW50 ISO80
Tomada NW25 NW25 NW40
Água de resfriamento
Escuro.
Pressão kg/cm² 2,0-4,0(△P>1kg/cm²) 2,0-4,0(△P>1kg/cm²) 2,0-4,0(△P>1kg/cm²)
Min.Flow L/min 1 1 1
Temperatura 20℃ 2L/min~30℃
5L/min
20℃ 2Lmin~30℃
5L/min
20℃ 2L/min~30℃
5L/min
Começão RC1/4" RC1/4" RC1/4"
C×L×A milímetros 450×230×275 450×230×275 530×230×520
Peso kg 60 60 120
Nosice dB 60 60 60
Potência de pressão máxima kW 0.39 0.44 0.5


Série IPH

Produto Unidade iPH100 iPH200 iPH610 iPH1210 iPH1210H iPH1220 iPH1810 iPH1820
Bomba seca m³/h 120 200 120 120 120 200 120 200
Reforço m³/h 1 I 600 1200 1200 1200 1800 1800
Velocidade máxima de bombeamento m³/h 120 200 700 1100 1100 1250 1800 1850
Pressão Final Torr 7,5×10-3 7,5×10-3 7,5×10-4 7,5×10-4 7,5×10-4 7,5×10-4 7,5×10-4 7,5×10-4
Energia do sistema em UIt. kW 2.1 3.5 2.6 3.0 3.2 4.5 3.9 4.7
Entrada ISO 63 63 100 100 100 100 160 160
Tomada NO 40 40 40 40 40 40 40 40
Dimensão (mm) L 830 830 830 830 830 830 830 830
W 400 400 400 400 400 400 400 400
H 526 526 780 780 780 780 830 830
Peso Kg 280 300 450 455 460 470 515 530



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