Em muitas fábricas, os requisitos de vácuo não são constantes.
Alguns processos requerem alto vácuo, enquanto outros só precisam manter um determinado estado. Se o equipamento funcionar continuamente a toda velocidade, os custos de eletricidade serão elevados e o desgaste do equipamento será acelerado.
A vantagem da bomba de vácuo de parafuso seco de frequência variável reside nisto -
Ele não opera em plena capacidade o tempo todo, mas ajusta automaticamente sua velocidade de acordo com as necessidades reais. A bomba de vácuo funciona sob demanda, economizando energia elétrica e evitando trabalhos desnecessários.
Quando a carga do sistema está baixa, a bomba de vácuo desacelera automaticamente, reduzindo o consumo desnecessário de energia;
Caso o processo exija maior capacidade de bombeamento, ele poderá responder rapidamente, garantindo que o ritmo de produção não seja interrompido.
Este método de controle de frequência variável não apenas reduz significativamente os custos de eletricidade, mas também faz com que todo o sistema funcione de maneira mais suave e silenciosa. No longo prazo, também protege o próprio equipamento.
A bomba de vácuo de parafuso seco de frequência variável apresenta uma interface de controle intuitiva, permitindo aos usuários compreender facilmente o status operacional e os parâmetros rapidamente. Os operadores não necessitam de treinamento especializado e complexo; é muito fácil de usar e os ajustes diários e o monitoramento são convenientes.
Fabricação de semicondutores e eletrônicos: gravação, CVD, PECVD e outros processos
Linhas de produção fotovoltaica e LED: Deposição, limpeza e evacuação de filmes finos
Processos químicos: Tratamento de gases, reação a vácuo, recuperação de solventes
Aplicações industriais de revestimento, galvanização e alta limpeza
1. Caminho curto do gás e redução da contaminação do gás de processo
Comparando com outros tipos de bomba de vácuo seca, a bomba de vácuo de parafuso HANBELL tem o caminho de gás mais curto na bomba de vácuo e isso pode reduzir a contaminação do gás de processo. Os rotores de parafuso podem funcionar como um mecanismo de transmissão de pó, funcionamos bem mesmo que haja muita contaminação dentro da bomba.
2. Excelente desempenho da bomba devido aos excelentes efeitos de vedação do perfil do rotor
O perfil patenteado do rotor pode fornecer excelentes efeitos de vedação ao rotor, portanto, uma folga maior é permitida entre eles. O desgaste do rotor da bomba e o emperramento do rotor pela contaminação do processo podem ser reduzidos através de uma maior folga permitida.
3. Estrutura simples reduz a chance de parada inesperada da bomba e facilita o processo de revisão.
O vácuo tipo parafuso é composto por um par de rotores de parafuso e placas de isolamento são necessárias em diferentes estágios da câmara de bombeamento. A contaminação do processo entre rotores e placas de isolamento também pode ser evitada. A revisão da bomba seca Hanbell é muito mais fácil do que outro tipo de bomba seca, portanto, o tempo de reparo é mais curto e o custo é menor.
4. O controlador do microprocessador e o software de controle remoto podem proteger a bomba de situações anormais.
O controlador microprocessado fornece vários parâmetros da bomba para monitoramento do status de operação. A bomba pode ser facilmente operada e monitorada pelo painel de operação. O software de controle remoto pode ajudar o cliente a monitorar remotamente o status de funcionamento da bomba.
1. Líquido refrigerante especial é utilizado para resfriamento, evitando a possível corrosão da carcaça pela água de resfriamento.
2. A interface de operação móvel é conveniente para operação; ele exibe a condição real de funcionamento da bomba de vácuo e pode ser exibido em chinês e inglês, atendendo verdadeiramente aos clientes.
3. Conector de alimentação de nível militar, seguro e conveniente.
4. Aquecedor de nitrogênio, tornando a bomba de vácuo mais adequada para processos de semicondutores como CVD e PECVD.
5. Sinal de controle e interface de sinal de comunicação, permitindo o monitoramento remoto da bomba de vácuo.
| Modelo | Unidade | PS80 | PS160 | PS180 | |
| Velocidade de bombeamento (50 Hz/60 Hz) | L/min | 1300/1600 | 2150/2600 | 2500/3000 | |
| m³/h | 80/96 | 140/156 | 150/180 | ||
| cfm | 48/57 | 82/92 | 88/105 | ||
| Pressão UITimate | Torr | ≤7,5*10⁻3 | |||
| mbar | ≤1*10-2 | ||||
| Pai | ≤1 | ||||
| Motor | Freqüência | Hz | 50/60 | ||
| Tensão | V | 220~440 | |||
| Poder | HP | 4 | 6 | 6 | |
| KW | 2.98 | 4.47 | 4.47 | ||
| Conexão | Entrada | NW50 | |||
| Outer | NW40 | ||||
| Resfriamento Água |
Fluxo | L/min | 3~7 | ||
| Pressão | kg/cm² | 2~4 | |||
| Temperatura | ℃ | 18~30 | |||
| Conexão | RC3/8” | ||||
| N2 | Pressão | MPa | 0,15~0,2 | ||
| Diluir Fluxo | L/min | 0~60 | |||
| Fluxo de vedação | L/min | 0~20 | |||
| Conexão | Swagelok 1/4” | ||||
| DIM.L*W*H | milímetros | 814*380*663 | 895*405*678 | 920*425*650 | |
| Peso | kg | 280 | 300 | 320 | |
| Barulho | dB(A) | ≤68 | ≤70 | ≤70 | |
| Notas: 1. Os níveis de ruído acima são para modelos com motor refrigerado a água e sem carcaça. 2. A instalação de dispositivos de isolamento acústico nos modelos acima pode reduzir ainda mais o ruído em 3-4 decibéis. | |||||
| Interface | SEMIE73-0299 | ||||
| Taxa de vazamento da bomba | Mbar.1/s | 1*10-5 | |||
| Temperatura de operação | ℃ | 5~40 | |||
| Umidade de Operação | RH | abaixo de 90% | |||
| Modelo | Unidade | PS602 | PS902 | PS1302 | PS1802 | |
| Velocidade de bombeamento (50 Hz/60 Hz) | L/min | 8300/10000 | 12.500/15.000 | 17500/21000 | 25000/33300 | |
| m³/h | 500/600 | 750/900 | 1050/1260 | 1500/1800 | ||
| cfm | 294/353 | 441/530 | 618/742 | 883/1060 | ||
| Pressão UITimate | Torr | ≤7,5*10⁻⁴ | ||||
| mbar | ≤1*10⁻³ | |||||
| Pai | ≤0,1 | |||||
| Motor | Freqüência | Hz | 50/60 | |||
| Tensão | V | 220~440 | ||||
| Poder | HP | 4+4 | 6+4 | 6+6 | 6+6 | |
| KW | 2,98+2,98 | 4,47+2,98 | 4,47+4,47 | 4,47+4,47 | ||
| Conexão | Entrada | IS0100 (parafusado) | IS0160 (parafusado) | |||
| Outer | NW40 | |||||
| Resfriamento Água |
Fluxo | L/min | 3~7 | |||
| Pressão | kg/cm² | 2~4 | ||||
| Temperatura | ℃ | 15~30 | ||||
| Conexão | RC3/8” | |||||
| N2 | Pressão | MPa | 0,15~0,2 | |||
| Diluir Fluxo | L/min | 0~60 | ||||
| Fluxo de vedação | L/min | 0~20 | ||||
| Conexão | Swagelok 1/4” | |||||
| DIM.L*W*H | milímetros | 814*380*865 | 895*380*915 | 920*430*957 | 920*430*1030 | |
| Peso | kg | 450 | 520 | 540 | 545 | |
| Barulho | dB(A) | ≤70 | ≤70 | ≤70 | ≤70 | |
| Notas: 1. Os níveis de ruído acima são para modelos com motor refrigerado a água e sem carcaça. 2. A instalação de dispositivos de isolamento acústico nos modelos acima pode reduzir ainda mais o ruído em 3-4 decibéis. | ||||||
| Interface | SEMIE73-0299 | |||||
| Temperatura de operação | ℃ | 5~40 | ||||
| Umidade de Operação | RH | Abaixo de 90% | ||||
Bomba de vácuo de parafuso seco, pode ser com motor refrigerado a água (à prova de explosão) ou motor refrigerado a ar (à prova de explosão), alta velocidade de bombeamento em alta pressão, baixo consumo de energia, baixo ruído.
LCD TFT, painel de toque
Solar
Sistema Metalúrgico
Revestimento
Processos plasmáticos
Processo de secagem
Biotecnologia/Farmacêutica
Indústria química
| Modelo | Unidade | PD120 | PD200 | PD300 | PD500 | PD650 | PD800 | |
| Velocidade de bombeamento (50 Hz/60 Hz) | L/min | 1667/2000 | 2830/3400 | 4167/5000 | 7000/8333 | 9030/10840 | 11011/13233 | |
| m³/h | 100/120 | 167/200 | 250/300 | 420/500 | 540/650 | 680/800 | ||
| cfm | 59/71 | 98/117 | 147/176 | 248/295 | 371/382 | 393/471 | ||
| Pressão UITimate | Torr | ≤7,5*10-3 | ||||||
| mbar | ≤1*10-2 | |||||||
| Pai | ≤1 | |||||||
| Motor | Freqüência | Hz | 50/60 | |||||
| Tensão | V | 220~380~440 | ||||||
| Poder | HP | 4/5.3 | 6/7,5 | 8/10 | 15/20 | 25/30 | 25/30 | |
| KW | 2,98/4 | 4,47/5,5 | 6,7/7,5 | 15/11 | 18,5/22 | 18,5/22 | ||
| Poder | KW | 1.6/2 | 2.2/3 | 3.6/4.2 | 6/7 | 13/10 | 14/11 | |
| Conexão | Entrada | NW50 | NW50 | ISO63 | ISO80 | ISO100 | ISO100 | |
| Outer | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ISO63 | ISO63 | ||
| Resfriamento Água |
Conexão | RC3/8” | RC1/2” | |||||
| Pressão | kg/cm² | 2,0~4,0 | ||||||
| Temperatura | ℃ | 3slm18℃~7slm28℃ | 6slm18℃~15slm28℃ | |||||
| Fluxo | L/min | |||||||
| N2 | Pressão | kg/cm² | 0,15~0,2 | |||||
| Diluir Fluxo | L/min | Por Processo | ||||||
| Fluxo de vedação | L/min | 10 | ||||||
| Conexão | Swagelok 1/4” | |||||||
| DIM.L*W*H | milímetros | 814*380*663 | 920*430*674 | 1075*430*650 | 1346*538,4*886 | 1831*610*735 | 1831*610*735 | |
| Peso | kg | 280 | 345 | 390 | 550 | 1050 | 1050 | |
| Barulho | dB(A) | 68 | <70 | <70 | <75 | <80 | <80 | |
| Temperatura de operação | ℃ | 5~40°C | ||||||
| Umidade de Operação | RH | Abaixo de 90% | ||||||

| Produto | Unidade | PD300 | PD500 | PD1902 | PD2152 | PD3052 | PD3652 |
| Bomba seca | m³/h | 330 | 500 | 330 | 500 | 500 | 500 |
| Bomba de reforço | m³/h | 1800 | 1800 | 3000 | 3600 | ||
| Velocidade máxima de bombeamento | m³/h | 330 | 500 | 1900 | 2100 | 3000 | 3600 |
| l/min | 5500 | 8300 | 32000 | 35000 | 50000 | 60000 | |
| Pressão Final | Torr | 7,5X10-3 | 7,5X10-3 | 7,5X10-4 | 7,5X10-4 | 7,5X10-4 | 7,5X10-4 |
| Consumo de energia | kW | 4.5 | 7.7 | 5.3 | 8.5 | 8.8 | 9.0 |
| Entrada | ENTÃO | 63 | 80 | 160 | 160 | 200 | 200 |
| Tomada | NO | 40 | 50 | 40 | 50 | 50 | 50 |
| Dimensão (mm) | L | 1055 | 1505 | 1055 | 1505 | 1505 | 1505 |
| W | 430 | 525 | 430 | 525 | 525 | 525 | |
| H | 560 | 515 | 1055 | 790 | 965 | 965 | |
| Peso | Kg | 350 | 500 | 560 | 730 | 1000 | 1020 |
1. As bombas PR possuem um mecanismo de bombeamento isento de óleo de alta qualidade.
2. Excelente desempenho da bomba devido aos excelentes efeitos de vedação do perfil do rator.
3. Operar em pressões relativamente baixas o torna altamente confiável
4. Operação silenciosa e sem vibrações
Revestimento a vácuo, forno a vácuo, processo térmico, farmacêutico, químico, semlconductor, TFT/LCD/LED e célula solar, etc.
| Modelo | Unidade | PR600 | PR900 | PR1300 | PR1800 | PR3000 | PR7000 | |
| Velocidade de bombeamento (50 Hz/60 Hz) | L/min | 13000 | 20000 | 26000 | 33000 | 63000 | 140000 | |
| m³/h | 800 | 1200 | 1600 | 2000 | 3800 | 8400 | ||
| cfm | 470 | 706 | 941 | 1176 | 2235 | 4947 | ||
| Pressão UITimate | Torr | ≤7,5*10⁴ | ||||||
| mbar | ≤1*10⁻³ | |||||||
| Pai | ≤0,1 | |||||||
| Motor | Freqüência | Hz | 50/60 | |||||
| Tensão | V | 220~440 | ||||||
| Poder | HP | 4 | 4 | 6 | 6 | 20/08 | 20 | |
| KW | 2.98 | 2.98 | 4.47 | 4.47 | 6,7/15 | 15 | ||
| Consumo de energia ocioso | KW | 1.7 | ||||||
| Conexão | Entrada | IS0100 | ISO160 | ISO200 | 320 ISO K | |||
| Outer | IS0063 | ISO100 | IS0160 | 160 ISO K | ||||
| DIM.L*W*H |
milímetros |
721*322*233 |
778*360*250 |
848*360*272 |
778*360*272 |
1142*510*358 | 1490*669*490 | |
| Peso | kg | 160 | 210 |
220 |
225 |
570 | 880 | |
| Barulho | dB(A) |
≤60 |
≤60 |
≤62 |
≤62 |
≤65 |
≤70 |
|
| Notas: 1. Os níveis de ruído acima são para modelos com motor refrigerado a água e sem carcaça. 2. A instalação de dispositivos de isolamento acústico nos modelos acima pode reduzir ainda mais o ruído em 3-4 decibéis. | ||||||||
| Taxa de vazamento da bomba | Mbar.1/s | 1*10⁵ | ||||||
| Temperatura de operação ℃ | ℃ | 5~40 | ||||||
| Operação Umidade RH | RH | Abaixo de 90% | ||||||
| Modelo | Unidade | PMF100 | PMF120 | PMF612 | |
| Velocidade de bombeamento | L/min | 1666 | 1933 | 10000 | |
| m³/h | 100 | 116 | 600 | ||
| cfm | 59 | 69 | 353 | ||
| Pressão Final | Torr | ≤7,5×10-3 | ≤7,5×10-3 | ≤7,5×10-4 | |
| mbar | ≤1×10-2 | ≤1×10-2 | ≤1×10-3 | ||
| Motor | Tensão | V | 220V/380V | 220V/380V | 220V/380V |
| Potência nominal | kW | 2.2 | 2.2 | 2,2+2,2 | |
| Conexão | Entrada | NW50 | NW50 | ISO80 | |
| Tomada | NW25 | NW25 | NW40 | ||
| Água de resfriamento Escuro. |
Pressão | kg/cm² | 2,0-4,0(△P>1kg/cm²) | 2,0-4,0(△P>1kg/cm²) | 2,0-4,0(△P>1kg/cm²) |
| Min.Flow | L/min | 1 | 1 | 1 | |
| Temperatura | ℃ | 20℃ 2L/min~30℃ 5L/min |
20℃ 2Lmin~30℃ 5L/min |
20℃ 2L/min~30℃ 5L/min |
|
| Começão | RC1/4" | RC1/4" | RC1/4" | ||
| C×L×A | milímetros | 450×230×275 | 450×230×275 | 530×230×520 | |
| Peso | kg | 60 | 60 | 120 | |
| Nosice | dB | 60 | 60 | 60 | |
| Potência de pressão máxima | kW | 0.39 | 0.44 | 0.5 | |
| Produto | Unidade | iPH100 | iPH200 | iPH610 | iPH1210 | iPH1210H | iPH1220 | iPH1810 | iPH1820 |
| Bomba seca | m³/h | 120 | 200 | 120 | 120 | 120 | 200 | 120 | 200 |
| Reforço | m³/h | 1 | I | 600 | 1200 | 1200 | 1200 | 1800 | 1800 |
| Velocidade máxima de bombeamento | m³/h | 120 | 200 | 700 | 1100 | 1100 | 1250 | 1800 | 1850 |
| Pressão Final | Torr | 7,5×10-3 | 7,5×10-3 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 |
| Energia do sistema em UIt. | kW | 2.1 | 3.5 | 2.6 | 3.0 | 3.2 | 4.5 | 3.9 | 4.7 |
| Entrada | ISO | 63 | 63 | 100 | 100 | 100 | 100 | 160 | 160 |
| Tomada | NO | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 |
| Dimensão (mm) | L | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 |
| W | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | |
| H | 526 | 526 | 780 | 780 | 780 | 780 | 830 | 830 | |
| Peso | Kg | 280 | 300 | 450 | 455 | 460 | 470 | 515 | 530 |
Endereço
567 Songwei North Road, distrito de Songjiang, Xangai, China
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